5 仪器设备

5.1 扫描电子显微镜
5.1.1 分辨率
        SEM的分辨率能力应高于10nm。
5.1.2 放大倍率
        SEM的放大倍率应为20倍～100000倍之间。
5.2 其他所需设备
    超声波清洗机、金刚石切割机、离子溅射仪、鼓风干燥箱等。